ये कार्ट्रिज हीटर विशेष रूप से वेफर प्रसंस्करण उपकरण में उपयोग के लिए इंजीनियर किए गए हैं, जहां उन्हें साफ-सुथरे वातावरण में 600 डिग्री तक के तापमान पर लगातार काम करना होगा। जापानी ग्राहक, सेमीकंडक्टर विनिर्माण उपकरण उद्योग में एक प्रमुख खिलाड़ी, को चिप निर्माण के लिए आवश्यक अल्ट्रा-स्वच्छ परिस्थितियों को बनाए रखने के लिए असाधारण थर्मल स्थिरता और बेहद कम आउटगैसिंग विशेषताओं वाले हीटर की आवश्यकता थी। हमारी तकनीकी टीम ने एक कस्टम डिज़ाइन विकसित किया है जिसमें स्टेनलेस स्टील 310S शीथ सामग्री शामिल है, जिसे इसके बेहतर उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध और एक विशेष निम्न तापमान आउटगैसिंग मैग्नीशियम ऑक्साइड इन्सुलेशन ग्रेड के लिए चुना गया है।
इन उच्च तापमान वाले हीटरों के उत्पादन में कई विशेष प्रक्रियाएं शामिल होती हैं। उच्च {{2}शुद्धता वाले लौह {{3}क्रोमियम {{4}एल्यूमीनियम मिश्र धातु से बना प्रतिरोध तार, पूरी गर्म लंबाई के साथ एक समान गर्मी उत्पादन सुनिश्चित करने के लिए सटीक पिच नियंत्रण के साथ घाव किया जाता है। घाव असेंबली को 310S स्टेनलेस स्टील ट्यूबों में डाला जाता है, जो किसी भी सतह के दूषित पदार्थों को हटाने के लिए एक विशेष आंतरिक पॉलिशिंग प्रक्रिया से गुजरता है जो आउटगैसिंग में योगदान दे सकता है। एमजीओ भरने की प्रक्रिया नमी के अवशोषण को रोकने के लिए नियंत्रित आर्द्रता वाले वातावरण में होती है, जिससे उच्च तापमान संचालन के दौरान गैस निकलने का खतरा हो सकता है। भरने के बाद, आवश्यक संघनन घनत्व प्राप्त करने के लिए ट्यूबों को स्वैग किया जाता है, फिर किसी भी अवशिष्ट नमी को हटाने और आंतरिक संरचना को स्थिर करने के लिए वैक्यूम भट्ठी में उच्च तापमान एनीलिंग प्रक्रिया के अधीन किया जाता है।
