संदूषण नियंत्रण और आउटगैसिंग प्रबंधन के लिए वैक्यूम प्रक्रिया उपकरणों में कार्ट्रिज हीटर घटकों का उपयोग करना

संदूषण नियंत्रण और आउटगैसिंग प्रबंधन के लिए वैक्यूम प्रक्रिया उपकरणों में कार्ट्रिज हीटर घटकों का उपयोग करना
वैक्यूम आधारित सेमीकंडक्टर उपकरण में, हीटर की स्थापना के बाद अवशिष्ट गैस स्तर या कणों की संख्या में वृद्धि से उपकरण प्रमाणन में देरी होती है और प्रक्रिया की उपज कम होती है। संदूषण के लगातार स्रोत हीटिंग उपकरणों द्वारा उत्पन्न होते हैं, जो परिचालन स्थितियों के तहत, कण खो देते हैं या वाष्पशील पदार्थ विकसित करते हैं।
कार्बनिक बाइंडर्स, पूरी तरह से वेल्डेड धातु सील और ऑक्सीकरण प्रतिरोधी शीथ मिश्र धातु जैसे इनकोनेल से रहित उच्च {{0}शुद्धता वाले मैग्नीशियम ऑक्साइड इन्सुलेशन, हूवर सेवा के लिए डिज़ाइन किए गए कार्ट्रिज हीटर के आवश्यक घटक हैं। एनीलिंग, निक्षेपण और खोदने वाले कक्षों के विशिष्ट तापमान पर, ये विशेषताएं आउटगैसिंग और कण गठन को प्रतिबंधित करती हैं। इसके छोटे आकार के कारण, इसे बहुत सारे सतह क्षेत्र को जोड़े बिना गैस लाइन हीटर, चैम्बर की दीवारों और रिसेप्टर्स में एकीकृत किया जा सकता है जो संदूषण का कारण बन सकता है। इन घटकों की बहु-ज़ोन सारणियाँ तापमान स्थिरता को बनाए रखते हुए सफाई आवश्यकताओं को पूरा करती हैं।
अंतिम प्रदर्शन स्थापना और कंडीशनिंग प्रक्रियाओं से महत्वपूर्ण रूप से प्रभावित होता है। शेष नमी और सतह की फिल्मों को सावधानी से संभालने, बचे हुए मशीनिंग तरल पदार्थों से बचने और निम्नलिखित असेंबली के बाद नियंत्रित वैक्यूम बेक करने से हटा दिया जाता है। प्रक्रिया वेफर्स जोड़ने से पहले, बेक के बाद अवशिष्ट गैस विश्लेषण और कण गणना यह पुष्टि करती है कि स्थापित कार्ट्रिज हीटर उपकरण विनिर्देशों को पूरा करता है। यहां तक ​​कि उच्च शुद्धता वाली सामग्रियों के साथ भी, वाट घनत्व को सीमा के भीतर रहना चाहिए जो उच्च शीथ तापमान को रोकता है जो ऑक्सीकरण को तेज कर सकता है या कणों का उत्पादन कर सकता है।
निरंतर निरीक्षण से स्वच्छता बनाए रखने में सहायता मिलती है। प्रारंभिक गिरावट जो संभावित रूप से प्रदूषकों को छोड़ सकती है, प्रतिरोध जांच और म्यान गुणवत्ता के लिए दृश्य निरीक्षण द्वारा पता लगाया जाता है। रखरखाव के दौरान अतिरिक्त कणों को शामिल करने का जोखिम सुलभ स्थानों में कम हो जाता है जब कारतूस हीटर को छोटे उपकरण डिस्सेप्लर से बदला जा सकता है। लीड रूटिंग और फीडथ्रू डिज़ाइन को कम {{3}आउटगैसिंग गुण और वैक्यूम अखंडता बनाए रखनी चाहिए।
फ़ील्ड निष्कर्षों से पता चलता है कि चूंकि औद्योगिक - ग्रेड हीटर की सामग्री या सीलिंग तकनीक सेमीकंडक्टर वैक्यूम स्थितियों के लिए तैयार नहीं की जाती है, इसलिए वे आम तौर पर अवशिष्ट गैस या कण मानदंड में विफल होते हैं। उपज की सुरक्षा के लिए सेमीकंडक्टर श्रेणी संरचनाओं पर अतिरिक्त परीक्षण और शुद्धिकरण किया जाता है। अलग-अलग प्रक्रिया तापमान, हूवर स्तर और उपकरण आकार के कारण अलग-अलग सफाई और हीटिंग आवश्यकताएं लगाई जाती हैं। प्रत्येक कार्ट्रिज हीटर अनुप्रयोग के लिए, सामग्री का विशेषज्ञ चयन, सीलिंग तकनीक और ऑपरेटिंग सेटिंग्स वैक्यूम सेमीकंडक्टर उपकरण में प्रक्रिया प्रदर्शन लक्ष्यों और संदूषण नियंत्रण विनिर्देशों दोनों के अनुरूप होने की गारंटी देता है।